ROCKER真空泵的關(guān)鍵部件,對(duì)泵的性能影響很大,當(dāng)閥剛度變化時(shí),其位移曲線也會(huì)變化,從而導(dǎo)致泵的抽氣性能也發(fā)生相應(yīng)變化。若閥剛度過大,會(huì)導(dǎo)致開啟困難且關(guān)閉提前,影響氣體通流能力;若閥剛度過小,則會(huì)導(dǎo)致關(guān)閉延遲和密封不嚴(yán),出現(xiàn)氣體回流現(xiàn)象。
因此選擇合適的閥剛度是至關(guān)重要的,尤其對(duì)于具有三個(gè)閥的電磁真空泵而言,對(duì)抽氣性能的影響更為嚴(yán)重。因此,針對(duì)提出的電磁真空泵,將閥組結(jié)構(gòu)參數(shù)作為優(yōu)化變量進(jìn)行優(yōu)化能夠較好地反映出電磁真空泵的結(jié)構(gòu)特性,并能在更大程度上提升電磁真空泵的抽氣性能。
ROCKER真空泵的壓力是指旋片式真空泵穩(wěn)定工作時(shí)所能達(dá)到的低壓力值。旋片泵的低工作壓力出現(xiàn)在泵開始工作后不久,但一段時(shí)間后由于溫度的升高會(huì)導(dǎo)致油液的飽和蒸汽壓和黏性等參數(shù)變化,壓力會(huì)有小幅度的回升,達(dá)到一個(gè)穩(wěn)定值。這個(gè)穩(wěn)定值就是旋片泵的壓力。油封旋片式真空泵來說,影響其壓力的因素有很多,主要是抽氣時(shí)間、油液、加工精度、齒頂間隙以及有害空間等。
真空度指標(biāo)是各國(guó)生產(chǎn)商努力追求的主要指標(biāo),它反應(yīng)了相應(yīng)的機(jī)械加工、密封技術(shù)、材料科學(xué)等領(lǐng)域的整體實(shí)力,也是生產(chǎn)商獲取利潤(rùn)的重要手段。要提高真空度指標(biāo),就須有更高的密封條件,因此就需要采用尺寸更準(zhǔn)確、材料性能更優(yōu)異的零部件,于是生產(chǎn)成本就大幅度提高了。而且價(jià)格的增幅遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于真空度指標(biāo)的增幅。
傳統(tǒng)工業(yè)用ROCKER真空泵體積普遍很大,而且泵的工作需要特殊的真空泵油和潤(rùn)滑機(jī)油,介質(zhì)氣體內(nèi)會(huì)含有大量油霧。隨著儀器儀表工業(yè)的發(fā)展以及人們對(duì)環(huán)保的要求,各國(guó)的微型無油真空泵應(yīng)運(yùn)而生,但普遍有以下規(guī)律:泵的價(jià)格和真空度指標(biāo)密切相關(guān)。